英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀專為半導體高純載氣微量水分在線監測打造，搭載原廠超高電容氧化鋁傳感器，覆蓋 - 100℃~+20℃全露點區間，S、R 低露點傳感器適配晶圓工藝超低露點監測，可精準檢測 0~1000ppm (v) 微量水汽，系統精度達 ±2℃露點，分辨率 0.1℃，能夠精準識別氮、氬、氦氣中極細微水分波動，為蝕刻、擴散、沉積工藝提供可靠數據支撐。整條特氣輸送管路、設備腔體進氣端均可加裝英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀，實現全流程多點同步監控。

傳統人工定時取樣檢測存在巨大滯后，干燥純化塔分子篩失效、特氣管路微滲漏等隱患無法及時發現，極易造成整片晶圓報廢。英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀支持 24 小時不間斷在線監測，干轉濕響應時間小于 20 秒，載氣水分突增瞬間即可反饋數值；儀器配備兩路獨立可編程報警繼電器，可按半導體工藝設置 - 70℃、-90℃露點預警閾值，露點超標 0.1℃即刻觸發報警，運維人員能快速檢修干燥系統，從源頭阻斷水分進入蝕刻、擴散、沉積腔體，從根本杜絕芯片良品率大幅下降。

英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀適配半導體潔凈高壓工況，傳感器接觸部件采用 316 不銹鋼，搭配 50 微米燒結不銹鋼過濾器，阻隔載氣內微小顆粒雜質，避免傳感器污染漂移；設備耐壓覆蓋 1kPa 至 350barA，適配高壓高純載氣輸送管線。標配隔離 4-20mA 線性模擬輸出，信號最遠傳輸 1000 米，可接入工廠 DCS、PLC 系統，遠程統一查看各工藝點位載氣露點，實現微量水分閉環管控。

英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀搭載 AutoCal 自動校準功能，出廠附帶可追溯至英國 NPL 國家物理實驗室的校準證書，測量數據滿足半導體行業質檢溯源要求；5 字符背光 LED 屏支持℃、ppm (v) 單位自由切換，現場直觀讀取載氣水分指標，操作簡單便捷。整機與傳感器享有一年質保，大幅降低半導體工廠儀表運維成本。

眾多晶圓制造項目實踐證明，在蝕刻、擴散、沉積載氣管道安裝英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀后，高純工藝氣露點長期穩定達標，晶圓缺陷、報廢問題顯著減少?？偠灾?，英國 SHAW 肖氏 Superdew 3 在線露點儀是半導體精密工序不ke或缺的監測設備，依靠持續穩定的微量水分在線監測能力，牢牢守住高純載氣純度底線，規避水分引發的芯片品質缺陷，為芯片穩定量產、保障良品率筑牢關鍵防線