在半導(dǎo)體與電子工業(yè)中，氯氣干法蝕刻是制造芯片和微電子器件的關(guān)鍵工藝，通過氯基等離子體精確去除材料層，賦予產(chǎn)品納米級(jí)的精細(xì)結(jié)構(gòu)。然而，氯氣的高毒性與強(qiáng)腐蝕性，使得蝕刻車間的濃度監(jiān)控成為安全管理的核心環(huán)節(jié)。一旦氯氣泄漏或濃度失控，不僅危及操作人員健康，還可能導(dǎo)致價(jià)值高昂的晶圓報(bào)廢。英國Alphasense推出的CL2-A1氯氣傳感器，以其出色的性能參數(shù)，為半導(dǎo)體蝕刻車間的氯氣精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)提供了可靠方案。

高靈敏度與快響應(yīng)，守護(hù)蝕刻精度。 半導(dǎo)體蝕刻工藝對(duì)氯氣濃度的波動(dòng)十分敏感，CL2-A1在10ppm氯氣中的靈敏度為±0.4 nA/ppm，從零點(diǎn)到10ppm的t90響應(yīng)時(shí)間小于60秒（33Ω負(fù)載電阻），能夠在濃度異常時(shí)迅速發(fā)出預(yù)警信號(hào)，為操作人員調(diào)整工藝參數(shù)或啟動(dòng)排風(fēng)系統(tǒng)爭(zhēng)取寶貴時(shí)間。

寬量程覆蓋，適配蝕刻工況。 蝕刻設(shè)備內(nèi)部氯氣濃度較高，而設(shè)備周邊及排氣口則以低濃度為主。CL2-A1的量程為0~350ppm，其中0~5ppm區(qū)間呈線性響應(yīng)，既能滿足設(shè)備周邊微量泄漏的精準(zhǔn)檢測(cè)，也能覆蓋蝕刻腔體內(nèi)部高濃度環(huán)境的監(jiān)控需求。其過載能力達(dá)50ppm，可對(duì)氣體脈沖實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定反應(yīng)，有效應(yīng)對(duì)蝕刻開腔瞬間的濃度沖擊。

環(huán)境適應(yīng)力強(qiáng)，滿足潔凈室要求。 半導(dǎo)體車間通常溫濕度控制嚴(yán)格，CL2-A1的工作溫度范圍為-20°C至50°C，濕度適應(yīng)范圍達(dá)15%至90%RH，壓力適應(yīng)范圍為80至120kPa，wan全覆蓋潔凈室及配套設(shè)施的各類工況。其零點(diǎn)漂移每年小于0.05ppm，靈敏度漂移每年小于10%，工作壽命超過24個(gè)月，長(zhǎng)期運(yùn)行仍能保持穩(wěn)定輸出，顯著降低了傳感器的更換頻率。

抗干擾出色，確保數(shù)據(jù)可靠。 半導(dǎo)體車間中可能存在H?S、NO?、SO?等多種工藝伴隨氣體，CL2-A1對(duì)CO（400ppm）、H?（400ppm）、C?H?（400ppm）等氣體的靈敏度影響均低于0.1%，即便在多氣體共存的復(fù)雜環(huán)境中，也能準(zhǔn)確輸出氯氣濃度數(shù)據(jù)，避免干擾導(dǎo)致的誤報(bào)。

CL2-A1重量不到6克，搭配33Ω優(yōu)化負(fù)載設(shè)計(jì)，可靈活集成于固定式在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)或便攜式巡檢設(shè)備中，廣泛部署于蝕刻腔體、氯氣供氣管路及廢氣處理通道等關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)，為半導(dǎo)體產(chǎn)線筑起一道可靠的氯氣安全防線